В России разрабатывают лазеры для интегральных схем
26 Ноября 2024 в 12:36
Минпромторг объявил тендер на разработку и производство гелий-неоновых лазеров и фотоприемников. Их будут использовать в системах позиционирования оборудования, которое применяется в производстве интегральных схем с топологическими нормами до 65 нм.
Общая стоимость тендера составляет 175 млн рублей. Информация о тендере размещена на сайте госзакупок.
Цель разработки – создать аналоги лазеров и фотоприемников, которые производит компания Keysight. Эти устройства используются в зарубежном оборудовании Nikon и ASML. Также они необходимы для действующего и разрабатываемого отечественного оборудования, которое применяется в производстве интегральных схем с проектными нормами до 65 нм.
Лазеры нужны для точного позиционирования активных частей установки относительно полупроводниковой пластины. Как и в других подобных тендерах, комплектующие и материалы должны быть произведены в России, чтобы обеспечить независимость от иностранных производителей.
Источник: telegram-канал МашТех
